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3D 白光干涉成像技术的创新及应用
无论是哪种方法,为了获得目标的高精度3D轮廓信息,都希望检测仪器具备高精度、高帧率、算法兼容性强、环境适应性强、稳定性强、操作简便、性价比高等特点,这在实际应用中,尤其在微纳米结构检测中有着重要意义。
3D 白光干涉成像技术
2023-03-18 00:40:28
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